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文献
J-GLOBAL ID：200902199359871123
整理番号：94A0527244
ハロゲンによるSi表面の電子的不動態
Electronic Passivation of Silicon Surfaces by Halogens.
M’SAAD H
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
,
MICHEL J
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
,
LAPPE J J
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
,
KIMERLING L C
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 23 号： 5 ページ： 487-491 発行年： 1994年05月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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