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J-GLOBAL ID：200902199383548694 整理番号：02A0734395

電子-サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングにより作製した炭素薄膜の電子エネルギー損失分光法

Electron Energy-Loss Spectroscopy of Carbon Films Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Sputtering.

著者 (4件)：

MUROOKA Y

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

TANAKA N

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

HIRONO S

(NTT AFTY Corp., Tokyo, JPN)

HIBINO M

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

資料名：

Materials Transactions (Materials Transactions)

巻： 43 号： 8 ページ： 2092-2096 発行年： 2002年08月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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