文献
J-GLOBAL ID:200902199477323513
整理番号:01A0089104
超小型電子機械装置向け炭化けい素
Silicon carbide for microelectromechanical systems.
著者 (6件):
MEHREGANY M
(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)
,
ZORMAN C A
(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)
,
ROY S
(Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA)
,
FLEISCHMAN A J
(Cleveland Clinic Foundation, Ohio, USA)
,
WU C-H
(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)
,
RAJAN N
(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)
資料名:
International Materials Reviews
(International Materials Reviews)
巻:
45
号:
3
ページ:
85-108
発行年:
2000年
JST資料番号:
D0258B
ISSN:
0950-6608
CODEN:
INMREO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)