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文献
J-GLOBAL ID：200902199600108436
整理番号：97A0374784
ZnO透明導電性酸化物の原子層蒸着
Atomic layer deposition of ZnO transparent conducting oxides.
YAMADA A
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
SANG B
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
KONAGAI M
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 112 ページ： 216-222 発行年： 1997年03月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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