文献
J-GLOBAL ID:200902200046601379
整理番号:07A0138592
真空中の電子ビーム蒸着による大きい表面上への均一厚み被膜層の堆積
Depositing uniform-thickness coatings on large surfaces by means of electron-beam evaporation in vacuum
著者 (3件):
ABZALOVA G. I.
(NPO State Inst. of Applied Optics, Kazan)
,
SABIROV R. S.
(NPO State Inst. of Applied Optics, Kazan)
,
MIKHAILOV A. V.
(S. I. Vavilov State Optical Inst. All-Russia Scientific Center, St. Petersburg)
資料名:
Journal of Optical Technology
(Journal of Optical Technology)
巻:
72
号:
10
ページ:
799-801
発行年:
2005年10月
JST資料番号:
H0664A
ISSN:
1070-9762
CODEN:
JOTEE4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)