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文献
J-GLOBAL ID：200902200062121352
整理番号：05A1032825
5nmの解像能を持つ小型超精密位置決め装置の開発
Development of a small ultraprecision positioning device with 5 nm resolution
OTSUKA Jiro
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
,
ICHIKAWA Soji
(Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN)
,
MASUDA Tomio
(Sigma-Tech Ltd, Saitama, JPN)
,
SUZUKI Kazuhiro
(Enomoto Ind. Ltd, Shizuoka, JPN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 16 号： 11 ページ： 2186-2192 発行年： 2005年11月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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