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文献
J-GLOBAL ID：200902200322861878
整理番号：03A0581823
キャビティ形成のためのベンゾシクロブテンを用いた選択性ウエハレベル接着剤ボンディング
Selective wafer-level adhesive bonding with benzocyclobutene for fabrication of cavities
OBERHAMMER J
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
,
NIKLAUS F
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
,
STEMME G
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A105 号： 3 ページ： 297-304 発行年： 2003年08月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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