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文献
J-GLOBAL ID：200902200978770712
整理番号：05A0568816
全iラインリフトオフTゲートプロセスと材料
All i-line lift-off T-gate process and materials
TOUKHY Medhat A.
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ)
,
LU Ping-Hung
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ)
,
MULLEN Salem K.
(AZ Electronic Materials USA Corp., NJ)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5753 号： Pt.1 ページ： 502-507 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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