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文献
J-GLOBAL ID：200902201037257165
整理番号：05A0737534
rfマグネトロンスパッタリングにより合成したZnO:Ga膜の性質に及ぼす真空アニーリングの影響
Influence of Vacuum Annealing on Properties of ZnO:Ga Films Prepared by r.f. Magnetron Sputtering
MA Jin
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
,
YU Xuhu
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
,
JI Feng
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
,
WANG Yuheng
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
,
ZHANG Xijian
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
,
CHENG Chuanfu
(Shandong Normal Univ., Jinan, CHN)
,
MA Honglei
(Shandong Univ., Jinan, CHN)
資料名：
Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng
(Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng)
巻： 34 号： 7 ページ： 1166-1168 発行年： 2005年07月
JST資料番号： W0563A ISSN： 1002-185X CODEN： XJCGEA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 中国語 (ZH)
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