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文献
J-GLOBAL ID：200902201093987320
整理番号：07A0234946
波長1300及び2100nmのフェムト秒レーザパルスを照射したシリコン上のサブ波長表面構造
Sub-wavelength surface structures on silicon irradiated by femtosecond laser pulses at 1300 and 2100 nm wavelengths
CRAWFORD T.h.r.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
,
HAUGEN H.k.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
,
HAUGEN H.k.
(Dep. of Physics and Astronomy, McMaster Univ., CAN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 253 号： 11 ページ： 4970-4977 発行年： 2007年03月30日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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