文献
J-GLOBAL ID:200902201254392089
整理番号:05A0628948
ラインエッジ粗さ定量における重大な問題点
Critical Issues in Quantifying Line Edge Roughness
著者 (5件):
NIKITIN A.
(Ardsley Park Sci. & Technol. Center, NY)
,
SICIGNANO A.
(Ardsley Park Sci. & Technol. Center, NY)
,
YEREMIN D.
(Ardsley Park Sci. & Technol. Center, NY)
,
SANDY M.
(Ardsley Park Sci. & Technol. Center, NY)
,
GOLDBURT T.
(Ardsley Park Sci. & Technol. Center, NY)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5752
号:
Pt.3
ページ:
1098-1106
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)