文献
J-GLOBAL ID:200902201271272356
整理番号:07A1070048
混合ガス内の容量性的に結合したRF放電破壊
Capacitively Coupled RF Discharge Breakdown in Gas Mixtures
著者 (3件):
SASAKI Norihiko
(Miyagi National Coll. of Technol., Natori)
,
SHOJI Masafumi
(Wacom R&D CO., LTD., Fukaya)
,
UCHIDA Yutaka
(Toshiba Corp., Yokohama)
資料名:
電気学会論文誌 A
(IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻:
127
号:
11
ページ:
714-718
発行年:
2007年11月01日
JST資料番号:
S0808A
ISSN:
0385-4205
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)