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文献
J-GLOBAL ID：200902201448271797
整理番号：03A0506433
大気圧微小プラズマジェットを用いた材料の局所プラズマ処理
Localized Plasma Processing of Materials Using Atmospheric-Pressure Microplasma Jets
YOSHIKI H
(Tsuruoka National Coll. of Technol., Yamagata, JPN)
,
IKEDA K
(Tsuruoka National Coll. of Technol., Yamagata, JPN)
,
WAKAKI A
(Uzen Parts, Yamagata, JPN)
,
TOGASHI S
(Togashi Denshi Serv., Yamagata, JPN)
,
TANIGUCHI K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HORIIKE Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42 号： 6B ページ： 4000-4003 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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