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文献
J-GLOBAL ID：200902201471991136
整理番号：05A0816476
“開拓”進むテラヘルツ領域 集積回路評価用レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発
Development of a Laser Terahertz Emission Microscope for Inspecting Electrical Failures in Integrated Circuits
山下将嗣
(理研)
,
紀和利彦
(岡山大 工)
,
斗内政吉
(大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
,
大谷知行
(理研)
,
川瀬晃道
(理研)
資料名：
光学
(Japanese Journal of Optics)
巻： 34 号： 9 ページ： 472-474 発行年： 2005年09月10日
JST資料番号： G0125B ISSN： 0389-6625 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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