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文献
J-GLOBAL ID：200902201485074403
整理番号：05A0457058
弾性放射加工による超平滑無欠陥4H-SiC(0001)表面の調製
Preparation of Ultrasmooth and Defect-Free 4H-SiC(0001) Surfaces by Elastic Emission Machining
KUBOTA Akihisa
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MIMURA Hidekazu
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
INAGAKI Kouji
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
ARIMA Kenta
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MORI Yuzo
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YAMAUCHI Kazuto
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 34 号： 4 ページ： 439-443 発行年： 2005年04月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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