文献
J-GLOBAL ID:200902201577771640
整理番号:08A0014391
新しい反応性スパッタ蒸着技術を用いた有機可撓ポリマ基板上のインジウムすず酸化物の室温成長
Room Temperature Growth of Indium-Tin Oxide on Organic Flexible Polymer Substrates Using a New Reactive-Sputter Deposition Technology
著者 (6件):
ANGUITA Jose V.
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
,
THWAITES Michael
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
,
HOLTON Barry
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
,
HOCKLEY Peter
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
,
RAND Stuart
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
,
HAUGHTON Stuart
(Plasma Quest Ltd., Hook, GBR)
資料名:
Plasma Processes and Polymers
(Plasma Processes and Polymers)
巻:
4
号:
1
ページ:
48-52
発行年:
2007年01月05日
JST資料番号:
W1950A
ISSN:
1612-8850
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)