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文献
J-GLOBAL ID：200902201753390062
整理番号：03A0506384
ライン-エッジ粗さ:特性評価と材料の原因
Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
YAMAGUCHI T
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMAZAKI K
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
NAGASE M
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
,
NAMATSU H
(NTT Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42 号： 6B ページ： 3755-3762 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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