文献
J-GLOBAL ID:200902201754199340
整理番号:05A0591058
ナノ刷込リソグラフィーのための重合体材料評価システムの研究
Study on Polymer Materials Evaluation System for Nano-Imprint Lithography
著者 (3件):
SEKIGUCHI Atsushi
(Litho Tech Japan Corp., Saitama, JPN)
,
KONO Yoshiyuki
(Litho Tech Japan Corp., Saitama, JPN)
,
HIRAI Yoshihiko
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
18
号:
4
ページ:
543-549
発行年:
2005年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)