文献
J-GLOBAL ID:200902201794827408
整理番号:04A0538524
走査レーザSQUID顕微鏡による256MDRAMの観測
Observation of 256M DRAM with a scanning laser SQUID microscope
著者 (2件):
二川清
(NECエレクトロニクス テスト評価技術開発事業部)
,
酒井哲哉
(NECエレクトロニクス テスト評価技術開発事業部)
資料名:
日本信頼性学会誌
(REAJ誌)
巻:
26
号:
5
ページ:
461-464
発行年:
2004年07月01日
JST資料番号:
L2778A
ISSN:
0919-2697
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)