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文献
J-GLOBAL ID：200902201905920917
整理番号：06A0742177
Siを組込んだDLC膜の熱安定性とトライボロジー特性
Thermal Stability and Tribological Properties of Si-incorporated DLC Films
CHOI Junho
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
,
MIYAGAWA Soji
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
,
NAKAO Setsuo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
,
IKEYAMA Masami
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
,
KIM Jongduk
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
,
MIYAGAWA Yoshiko
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Aichi, JPN)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31 号： 3 ページ： 689-692 発行年： 2006年09月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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