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文献
J-GLOBAL ID：200902201923806315
整理番号：05A0804821
表面波励起低圧プラズマCVDによるカーボンナノ物質の合成
Carbon nanomaterial depositions using surface-wave excited low-pressure plasma CVD
KIM Jaeho
(東大)
,
寺嶋和夫
(東大)
,
桂井誠
(東大)
資料名：
電気学会プラズマ研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： PST-05 号： 51-53.55-57.59.61-67 ページ： 1-5 発行年： 2005年
JST資料番号： Z0951A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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