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J-GLOBAL ID：200902201956576765 整理番号：05A1003555

PdNi合金薄膜を用いたボールSAWセンサによる水素ガスの検出

Detection of hydrogen by ball SAW sensor by using a PdNi alloy thin film

著者 (4件)：

山中一司

(東北大)

中曽教尊

(凸版印刷)

吹浦健

(Ball Semiconductor inc., Texas, USA)

SIM Dong Youn

(山武)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 105 号： 345(US2005 53-70) ページ： 17-20 発行年： 2005年10月13日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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