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文献
J-GLOBAL ID：200902202039336646
整理番号：03A0848189
p-MSQ低k素子に用いる洗浄液
Cleaning Solutions for p-MSQ Low-κ Device Applications
WALDFRIED C
(Axcelis Technol., Inc., Maryland, USA)
,
ESCORCIA O
(Axcelis Technol., Inc., Maryland, USA)
,
HAN Q
(Axcelis Technol., Inc., Maryland, USA)
,
SMITH P B
(Texas Instruments, Inc., Texas, USA)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 6 号： 12 ページ： G137-G139 発行年： 2003年12月
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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