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文献
J-GLOBAL ID：200902202141009455
整理番号：03A0549984
静電容量型湿度センサのドリフト現象に対するセンシング膜厚の効果
Effect of Sensing Film Thickness on Drift Phenomenon of Capacitive-Type Humidity Sensors
MATSUGUCHI M
(Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
,
KUROIWA T
(Yamatake Corp., Fujisawa, JPN)
,
OGURA T
(Yamatake Corp., Fujisawa, JPN)
,
OBARA S
(Yamatake Corp., Fujisawa, JPN)
,
SAKAI Y
(Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 150 号： 8 ページ： H192-H195 発行年： 2003年08月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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