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J-GLOBAL ID：200902202271941351 整理番号：04A0035430

URT-IP法により作製したZnO薄膜の光学及び電気特性

Optical and electrical properties of ZnO films prepared by URT-IP method

著者 (4件)：

SHIRAKATA S

(Ehime Univ., Ehime, JPN)

SAKEMI T

(Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Ehime, JPN)

AWAI K

(Sumijyu Technical Center Co., Ltd., Ehime, JPN)

YAMAMOTO T

(Kochi Univ. Technol., Kochi, JPN)

資料名：

Thin Solid Films (Thin Solid Films)

巻： 445 号： 2 ページ： 278-283 発行年： 2003年12月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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