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文献

J-GLOBAL ID：200902202290963897 整理番号：03A0421718

PBII法により作製したDLC膜の水素量解析法の検討

A comparison of hydrogen analysis techniques for DLC films prepared by PBII method

著者 (5件)：

安井治之

(金沢大大学院)

粟津薫

(石川県工試)

楢本洋

(原研)

広瀬幸雄

(金沢大)

佐々木敏彦

(金沢大)

資料名：

日本材料強度学会誌 (Journal of the Japanese Society for Strength and Fracture of Materials)

巻： 37 号： 2 ページ： 33-39 発行年： 2003年06月02日
JST資料番号： G0738A ISSN： 0286-4010 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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