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文献
J-GLOBAL ID：200902202816778658
整理番号：04A0070628
高次モードフリー-フリービームマイクロ機械的共振器
Higher-Mode Free-Free Beam Micromechanical Resonators
DEMIRCI M U
(Univ. Michigan, Michigan, USA)
,
NGUYEN C T-C
(Univ. Michigan, Michigan, USA)
資料名：
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium
(Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2003 ページ： 810-818 発行年： 2003年
JST資料番号： C0958A ISSN： 1075-6787 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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