文献
J-GLOBAL ID:200902203152357184
整理番号:04A0543849
能動配向ヘッドを用いたステップアンドレピートの光ナノインプリントシステム
Step-and-Repeat Photo-Nanoimprint System Using Active Orientation Head
著者 (5件):
HIROSHIMA H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOMURO M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KURASHIMA Y
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KIM S H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MUNEISHI T
(Kyocera Corp., Shiga, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
43
号:
6B
ページ:
4012-4016
発行年:
2004年06月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)