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J-GLOBAL ID：200902203267765650 整理番号：06A0668378

マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討

Characteristic of a Self-excited Micro Cantilever and a Self-detection Self-actuation-type Micro Cantilever for AFM

著者 (4件)：

林圭一

(筑波大)

小林健

(産業技術総合研)

黒田雅治

(産業技術総合研)

藪野浩司

(筑波大)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 106 号： 135(NLP2006 22-33) ページ： 41-45 発行年： 2006年06月26日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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