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文献
J-GLOBAL ID：200902203345739041
整理番号：03A0217859
容量結合水素プラズマの数値モデリング 周波数と圧力の効果
Numerical modeling of capacitively coupled hydrogen plasmas: Effects of frequency and pressure.
NOVIKOVA T
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
KALACHE B
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
BULKIN P
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
HASSOUNI K
(Univ. Paris-Nord, Villetaneuse, FRA)
,
MORSCHEIDT W
(Univ. Paris-Nord, Villetaneuse, FRA)
,
ROCA I CABARROCAS P
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 93 号： 6 ページ： 3198-3206 発行年： 2003年03月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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