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J-GLOBAL ID：200902203348422464 整理番号：04A0649691

圧電性MEMS素子の微細加工法

Microfabrication of Piezoelectric MEMS

著者 (1件)：

BABOROWSKI J

(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)

資料名：

Journal of Electroceramics (Journal of Electroceramics)

巻： 12 号： 1/2 ページ： 33-51 発行年： 2004年01月
JST資料番号： W1123A ISSN： 1385-3449 CODEN： JOELFJ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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