文献
J-GLOBAL ID:200902203546119017
整理番号:06A0041223
Smart-Cut技術に基づく単結晶6H-SiC MEMS製造
Single crystal 6H-SiC MEMS fabrication based on smart-cut technique
著者 (2件):
CONG Peng
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
YOUNG Darrin J
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
15
号:
12
ページ:
2243-2248
発行年:
2005年12月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)