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文献
J-GLOBAL ID：200902203935263492
整理番号：06A0021823
高Q UHFマイクロマシン半径方向輪郭モード円板共振器
High-Q UHF Micromechanical Radial-Contour Mode Disk Resonators
CLARK John R.
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
HSU Wan-Thai
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
ABDELMONEUM Mohamed A.
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
NGUYEN Clark T.-C.
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
NGUYEN Clark T.-C.
(DARPA, VA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 14 号： 6 ページ： 1298-1310 発行年： 2005年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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