文献
J-GLOBAL ID:200902204157899410
整理番号:05A0197106
プラズマ増強化学蒸着により作製したシリコン状膜の光学的性質と構造
Optical and structural properties of siliconlike films prepared by plasma-enhanced chemical-vapor deposition
著者 (7件):
CREMONA A
(Consiglio Nazionale delle Rice., Milano, ITA)
,
LAGUARDIA L
(Consiglio Nazionale delle Rice., Milano, ITA)
,
VASSALLO E
(Consiglio Nazionale delle Rice., Milano, ITA)
,
AMBROSONE G
(Univ. Napoli Federico II, Napoli, ITA)
,
COSCIA U
(Univ. Napoli Federico II, Napoli, ITA)
,
ORSINI F
(Univ. Milano, Milano, ITA)
,
POLETTI G
(Univ. Milano, Milano, ITA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
97
号:
2
ページ:
023533.1-023533.5
発行年:
2005年01月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)