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文献
J-GLOBAL ID：200902204225501838
整理番号：04A0265955
12相交流電源を用いた高密度プラズマの生成
High Density Plasma Generation by 12-phase AC Voltage Source
橋本好幸
(神戸高専)
資料名：
プラズマ応用科学
(Applied Plasma Science)
巻： 11 ページ： 141-144 発行年： 2003年12月
JST資料番号： L4460A ISSN： 1340-3214 CODEN： POKAFE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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