文献
J-GLOBAL ID:200902204590237180
整理番号:05A1023804
マイクロシステム技術を用いたサブミクロン・パターンの複製
Replication of sub-micrometre features using microsystems technology
著者 (10件):
PIRSKANEN J.
(North Karelia Polytechnic, Joensuu, FIN)
,
IMMONEN J.
(IMTEC, Joensuu, FIN)
,
KALIMA V.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
PIETARINEN J.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
SIITONEN S.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
KUITTINEN M.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
MOENKKOENEN K.
(North Karelia Polytechnic, Joensuu, FIN)
,
PAKKANEN T.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
SUVANTO M.
(Univ. Joensuu, Joensuu, FIN)
,
PAEAEKKOENEN E.J.
(Perlos Corp., Yloejaervi, FIN)
資料名:
Plastics, Rubber and Composites
(Plastics, Rubber and Composites)
巻:
34
号:
5/6
ページ:
222-226
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0988B
ISSN:
1465-8011
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)