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文献
J-GLOBAL ID：200902205005949036
整理番号：05A0739128
画期的バイモルフマイクロオプトメカニカルセンサの設計と製作
Design and Fabrication of a Novel Bimorph Microoptomechanical Sensor
LIM Si-Hyung
(Univ. California, CA, USA)
,
CHOI Jongeun
(Univ. California, CA, USA)
,
HOROWITZ Roberto
(Univ. California, CA, USA)
,
MAJUMDAR Arunava
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 14 号： 4 ページ： 683-690 発行年： 2005年08月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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