文献
J-GLOBAL ID:200902205169744419
整理番号:05A0628966
清浄な圧縮空気の精製に与える高い湿気の影響
Effects of High Moisture on the Purification of Clean Compressed Air
著者 (3件):
ROTTER Joe
(Mykrolis Corp., CA, USA)
,
ALVAREZ Daniel, Jr.
(Mykrolis Corp., CA, USA)
,
TRAM Allan
(Mykrolis Corp., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5752
号:
Pt.3
ページ:
1271-1276
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)