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文献
J-GLOBAL ID：200902206074766675
整理番号：06A1029538
極端紫外プログラム多層欠陥のactinic検査(露光波長と同一の光による検査)及び相互比較測定
Actinic inspection of extreme ultraviolet programed multilayer defects and cross-comparison measurements
GOLDBERG Kenneth A.
(Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, California 94720)
,
BARTY Anton
(Lawrence Livermore National Lab., Livermore, California 94550)
,
LIU Yanwei
(Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, California 94720)
,
KEARNEY Patrick
(SEMATECH, 255 Fuller Road, Suite 309, Albany, New York 12203)
,
TEZUKA Yoshihiro
(MIRAI, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies, 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, JPN)
,
TERASAWA Tsuneo
(MIRAI, Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies, 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, JPN)
,
TAYLOR John S.
(Lawrence Livermore National Lab., Livermore, California 94550)
,
HAN Hak-seung
(SEMATECH, 255 Fuller Road, Suite 309, Albany, New York 12203)
,
WOOD Obert R.
(SEMATECH, 255 Fuller Road, Suite 309, Albany, New York 12203)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 24 号： 6 ページ： 2824-2828 発行年： 2006年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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