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文献
J-GLOBAL ID：200902206162148108
整理番号：08A0155209
金属-ゲルマニウム-金属光検出器(MGM-PD)へのドーパント偏析の応用とその暗電流抑制機構
Application of dopant segregation to metal-germanium-metal photodetectors and its dark current suppression mechanism
ZANG H.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
LEE S. J.
(Silicon Nano Devices Lab., ECE Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP)
,
LOH W. Y.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
WANG J.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
YU M. B.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
LO G. Q.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
KWONG D. L.
(Inst. of Microelectronics, A*STAR, 11 Sci. Park Road, Singapore 117685 Singapore)
,
CHO B. J.
(Silicon Nano Devices Lab., ECE Dep., National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 92 号： 5 ページ： 051110 発行年： 2008年02月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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