文献
J-GLOBAL ID:200902206476170159
整理番号:04A0418757
プラズマ活性化化学蒸着を用いた炭化水素の局所的堆積
Localized deposition of hydrocarbon using plasma activated chemical vapour deposition
著者 (2件):
ABHINANDAN L
(Fraunhofer-Inst. fuer Angewandte Polymerforschung, Golm/Potsdam, DEU)
,
HOLLAENDER A
(Fraunhofer-Inst. fuer Angewandte Polymerforschung, Golm/Potsdam, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
457
号:
2
ページ:
241-245
発行年:
2004年06月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)