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文献
J-GLOBAL ID:200902206476170159   整理番号:04A0418757

プラズマ活性化化学蒸着を用いた炭化水素の局所的堆積

Localized deposition of hydrocarbon using plasma activated chemical vapour deposition
著者 (2件):
ABHINANDAN L
(Fraunhofer-Inst. fuer Angewandte Polymerforschung, Golm/Potsdam, DEU)
HOLLAENDER A
(Fraunhofer-Inst. fuer Angewandte Polymerforschung, Golm/Potsdam, DEU)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 457  号:ページ: 241-245  発行年: 2004年06月15日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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