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文献
J-GLOBAL ID：200902206770558289
整理番号：05A0610044
マイクロ加工石英音叉AFM(原子間力顕微鏡)プローブの新型の提案
PROPOSAL OF NEW TYPE OF MICRO-MACHINED QUARTZ TUNING FORK AFM PROBE
HIDA Hirotaka
(Nagoya Univ.)
,
SHIKIDA Mitsuhiro
(Nagoya Univ.)
,
FUKUZAWA Kenji
(Nagoya Univ.)
,
ONO Atsushi
(Toyo Communication Equipment Co., Ltd., JPN)
,
SATO Kenji
(Toyo Communication Equipment Co., Ltd., JPN)
,
ASAUMI Kazuo
(Mizuho Information and Res. Inst., Inc., JPN)
,
IRIYE Yasuroh
(Mizuho Information and Res. Inst., Inc., JPN)
,
CHENG Di
(Nagoya Univ.)
,
SATO Kazuo
(Nagoya Univ.)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 18th ページ： 323-326 発行年： 2005年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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