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文献
J-GLOBAL ID：200902206849225285
整理番号：06A0015786
AFMにおける圧電アクチュエータが横寸法測定に与える非線形及びヒステリシスの影響
Nonlinear and hysteretic influence of piezoelectric actuators in AFMs on lateral dimension measurement
HUANG Qiangxian
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
HUANG Qiangxian
(School of Instrumentation, Hefei Univ. of Technol., Hefei, Anhui 230009, CHN)
,
GONDA Satoshi
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MISUMI Ichiko
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
SATO Osamu
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KEEM Taeho
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KUROSAWA Tomizo
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 125 号： 2 ページ： 590-596 発行年： 2006年01月10日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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