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文献
J-GLOBAL ID：200902206897936622
整理番号：09A0926290
集積水素センサーの温度制御ならびにパッケージ最適化
Temperature Control and Packaging Optimization of the Integrated Hydrogen Sensor
TSUBOTA Kousuke
(Graduate School of National Sci. and Technol., Okayama Univ.)
,
KIWA Toshihiko
(Graduate School of National Sci. and Technol., Okayama Univ.)
,
YAMADA Hironobu
(Graduate School of National Sci. and Technol., Okayama Univ.)
,
YAMAGUCHI Tomiharu
(Graduate School of National Sci. and Technol., Okayama Univ.)
,
KONDO Yohei
(Sharp Takaya Electronic Ind. Co., Ltd.)
,
IMAJO Hirofumi
(Sharp Takaya Electronic Ind. Co., Ltd.)
,
HONDO Tsutomu
(Sharp Takaya Electronic Ind. Co., Ltd.)
,
MAEHARA Tunetoshi
(Phenitec semiconductor Co., Ltd.)
,
YAMAMOTO Tadayoshi
(Phenitec semiconductor Co., Ltd.)
,
TSUKADA Keiji
(Graduate School of National Sci. and Technol., Okayama Univ.)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 129 号： 9 ページ： 278-282 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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