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文献
J-GLOBAL ID：200902206940853590
整理番号：04A0382461
低圧容量結合水素放電の系統的キャラクタリゼーション
Systematic characterization of low-pressure capacitively coupled hydrogen discharges
SALABAS A
(Inst. Superior Tecnico, Lisboa, PRT)
,
MARQUES L
(Inst. Superior Tecnico, Lisboa, PRT)
,
JOLLY J
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
GOUSSET G
(Univ. Paris-Sud, Orsay, FRA)
,
ALVES L L
(Inst. Superior Tecnico, Lisboa, PRT)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 95 号： 9 ページ： 4605-4620 発行年： 2004年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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