文献
J-GLOBAL ID:200902207797697007
整理番号:03A0685931
紫外線フォトリソグラフィーによる金属ナノ粒子の微細パターン化
Micropatterning of Metal Nanoparticles via UV Photolithography
著者 (4件):
HORIUCHI S
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
FUJITA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
HAYAKAWA T
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
NAKAO Y
(National Inst. Advanced Ind. Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名:
Advanced Materials
(Advanced Materials)
巻:
15
号:
17
ページ:
1449-1452
発行年:
2003年09月03日
JST資料番号:
W0001A
ISSN:
0935-9648
CODEN:
ADVMEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)