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文献
J-GLOBAL ID：200902208024014250
整理番号：06A0369941
反応RFスパッタリングで析出した炭化タングステン膜のミクロ組織的および力学的研究
Microstructural and mechanical investigations of tungsten carbide films deposited by reactive RF sputtering
ABDELOUAHDI K.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
,
SANT C.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
,
LEGRAND-BUSCEMA C.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
,
AUBERT P.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
,
PERRIERE J.
(Inst. des NanoSciences de Paris, Univ. Paris VI, Campus Boucicaut,140 rue de Lourmel, 75015 Paris, FRA)
,
RENOU G.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
,
HOUDY Ph.
(Lab. d′Etude des Milieux Nanometriques, Batiment Maupertuis 1, rue du Pere Jarlan, 91025 Evry cedex, FRA)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 200 号： 22-23 ページ： 6469-6473 発行年： 2006年06月20日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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