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文献
J-GLOBAL ID：200902208029633063
整理番号：05A0223701
けい素の微細加工技術に基づくマイクロフォトニックスデバイス
Microphotonics Devices Based on Silicon Microfabrication Technology.
TSUCHIZAWA T
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
YAMADA K
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
FUKUDA H
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
WATANABE T
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
TAKAHASHI J
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
TAKAHASHI M
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
SHOJI T
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
TAMECHIKA E
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
,
ITABASHI S
(NTT Microsystem Integration Lab., Atsugi, JPN)
資料名：
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
(IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 11 号： 1 ページ： 232-240 発行年： 2005年01月
JST資料番号： W0734A ISSN： 1077-260X CODEN： IJSQEN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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