文献
J-GLOBAL ID:200902209168778730
整理番号:03A0615726
パーティクル-イン-セル/モンテカルロ法による2周波数容量結合プラズマの研究
Study on the Dual Frequency Capacitively Coupled Plasmas by the Particle-in-Cell/Monte Carlo Method
著者 (2件):
WAKAYAMA G
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NANBU K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
31
号:
4,Pt.1
ページ:
638-644
発行年:
2003年08月
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)