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文献
J-GLOBAL ID：200902209324462013
整理番号：08A0812872
振動抑制PTCに基づく大規模高精度階段状ステージの高速・高精度位置決めの改善
Improvement of Fast and Precise Positioning of Large-Scale High-Precision Step-Stage Based on Vibration Suppression PTC
SAKATA Koichi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
,
SHIMOYAMA Takachika
(Nikon Corp. Yokohama Plant, Yokohama, JPN)
,
SAIKI Kazuaki
(Nikon Corp. Yokohama Plant, Yokohama, JPN)
資料名：
Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
(Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 33rd Vol.1 ページ： 339-344 発行年： 2007年
JST資料番号： H0475B ISSN： 1553-572X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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